Diplomarbeiten, Bachelor- und Masterarbeiten

14.08.2008, Abschlussarbeiten, Bachelor- und Masterarbeiten

Implementierung eines Fitverfahrens für die Dünnschichtmessung mit verschiedenen Parametern in C++

Die Dünnschichtinterferometrie ist ein gängiges Verfahren zur
Schichtdickenanalyse. In Zukunft sollen elektronische Schaltungen, wie
z.B. RFID-Chips, im Druckverfahren hergestellt werden. Dabei ist die
Schichtdicke ein wichtiger Parameter zur Qualitätssicherung. In der
spektralen Dünnschichtinterferometrie existieren verschiedene Verfahren
zur Signalanalyse. Eines davon bedient sich eines Fitverfahrens,
was gerade im Bereich der Messgrenzen Anwendung findet. Bei den
hier untersuchten Schichtsystemen kann keine Standardfitfunktion verwendet
werden, die Funktion muss modifiziert und an das untersuchte
System angepasst werden. Nach der Implementierung in C++ soll noch
eine Systemmodellierung stattfinden, die den Fit auf Funktion verifizieren
soll.

Kontakt: f.hirth@tum.de